




實驗室氣相色譜儀用氣注意事項
1、必須使用無水分和氧份的高純度的氮氣,哪里有準分子預混氣,純度必須大于99.99%以上,否則GC無法工作。
2、使用前首先通氣1小時以上,才能加溫。
3、 樣品濃度一般為10ppm—1ppb,不宜過大。
4、不能分析與63Ni反應或使63Ni形成揮發(fā)的化合物如氧化性化合物、酸、潮濕的鹵素、潮濕的硝1酸、氫氧化銨、PCB、HS、CO等。

準分子預混氣的使用
可分為:硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體,通常設計將鋼瓶置于特氣柜內(nèi),再通過管道將氣體供應至現(xiàn)場附近的閥門箱,而后再進入制程機臺的使用點,于進入機臺腔體之前,會有獨立的氣體控制盤與制程控制模塊聯(lián)機,包頭準分子預混氣,以質(zhì)流流量計控制器進行流量之控制與進氣的混合比例控制。氣體房和氣柜還須有自動噴淋系統(tǒng),但有的氣體如三氟化氯,硅1烷遇水反應,準分子預混氣廠商,這時就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。


準分子氣體如何正確保存?
定期對容器進行安全檢驗
氣瓶是充裝準分子氣體的容器,如果出現(xiàn)密封不良或其他問題時會影響氣體的保存,所以當氣瓶已經(jīng)達到規(guī)定的使用年限之后就要將其送往有部門進行安全檢驗,只有在確保容器沒有損壞的情況下才方能繼續(xù)使用,此外,為了確保使用和保存的安全性,每瓶氣體至少要有一定的余壓。
要分類堆放
根據(jù)使用的目的不同標準氣體也有很多類型,如果企業(yè)有多種類型的標準氣體時,要注意將其分類堆放,此外,準分子預混氣廠,嚴禁將其與可燃氣體與助燃氣體堆放在一起,也不要沾油臘、爆曬、以及重拋和撞擊,氣瓶的瓶身上也不能進行引弧或電弧,裝卸時要動作輕緩。


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